皮拉尼真空傳感器 - F6000

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超低功耗<5毫瓦
快速響應(yīng)時(shí)間<5毫秒
耐沖擊至1000g
可測(cè)量氣體體積最低至0.1 cm3
低噪聲
高分辨率
同一芯片上進(jìn)行溫度傳感
長(zhǎng)期穩(wěn)定
可用溶劑浸泡清洗，延長(zhǎng)使用壽命

產(chǎn)品型號(hào)：: F6000

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產(chǎn)品介紹

皮拉尼真空傳感器F6000產(chǎn)品描述

F6000系列MEMS皮拉尼真空傳感器提供了一個(gè)突破性的真空測(cè)量方案。該傳感器外形微小，同時(shí)又具有超低功耗，長(zhǎng)壽命，低現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)，和低成本的優(yōu)點(diǎn)。

依據(jù)“氣體熱導(dǎo)系數(shù)與低真空范圍壓力成正比”的原理，F(xiàn)6000系列真空傳感器測(cè)量加熱元件上由于傳熱到周?chē)臍怏w而導(dǎo)致的細(xì)微的電阻變化。
該加熱元件（即測(cè)量電阻）是由一個(gè)置于一張隔熱膜上的鉑薄膜電阻構(gòu)成。隔熱膜懸覆在一個(gè)微加工的25祄深空腔上，空腔底部表面與隔熱膜平行，以確保精密測(cè)量傳熱率。由于被測(cè)氣體體積極小（即空腔容積?。瑹樖鞲衅髂軌蛱峁┏偷墓暮涂焖俚捻憫?yīng)時(shí)間。
F6000系列真空傳感器還提供了一個(gè)與測(cè)量電阻具有相同電阻溫度系數(shù)（TCR）的基準(zhǔn) 電阻，布置在傳感器芯片基板上。傳感器電路可用它來(lái)進(jìn)行環(huán)境溫度補(bǔ)償。

由于具有可靠性高，成本低，使用簡(jiǎn)便和超低功耗的逐項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)，采用MEMS工藝加工的，微型化的皮拉尼技術(shù)正在成為一個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。F6000 系列MEMS皮拉尼真空傳感器可以幫助客戶充分利用這一趨勢(shì)，以改善其現(xiàn)有的產(chǎn)品和開(kāi)發(fā)新的產(chǎn)品。

皮拉尼真空傳感器F6000絕對(duì)最大指標(biāo)：
工作溫度：-40 C至125C（可提供更高溫度型號(hào)）
濕度：0到100％RH，非冷凝
耐沖擊性：1000g
超壓：27.5 Bar

皮拉尼真空傳感器F6000傳感器特點(diǎn)

超低功耗<5毫瓦
快速響應(yīng)時(shí)間<5毫秒
耐沖擊至1000g
可測(cè)量氣體體積低至0.1 cm3
低噪聲
高分辨率
同一芯片上進(jìn)行溫度傳感
長(zhǎng)期穩(wěn)定
可用溶劑浸泡清洗，延長(zhǎng)使用壽命

皮拉尼真空傳感器F6000主要應(yīng)用

分析儀器
使用前級(jí)真空的封閉系統(tǒng)的檢漏
半導(dǎo)體設(shè)備
真空包裝機(jī)
便攜式數(shù)字真空計(jì)
小型機(jī)械系統(tǒng)（如泵）以達(dá)到規(guī)定的真空度
低成本真空開(kāi)關(guān)來(lái)驗(yàn)證1托以下的真空度

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